現(xiàn)有的電子無塵室凈化工程采用的空氣凈化裝置主要包括回風(fēng)管、送風(fēng)管、空調(diào)和空氣凈化器，回風(fēng)管的出風(fēng)端與空氣凈化器的進(jìn)風(fēng)端連接，空氣凈化器的出風(fēng)端與空調(diào)的進(jìn)風(fēng)端連接，空調(diào)的出風(fēng)端與送風(fēng)的進(jìn)風(fēng)端連接，外界的空氣經(jīng)過空氣凈化器凈化后再通過空調(diào)制冷，然后通過送風(fēng)管出入無塵室內(nèi)。由于回風(fēng)管只通過一個(gè)回風(fēng)口回風(fēng)，使得無塵室內(nèi)的各個(gè)角落的空氣凈化不均勻，導(dǎo)致整個(gè)電子無塵室內(nèi)空氣清潔度達(dá)不到萬級(jí)要求。
    目前，萬級(jí)電子無塵室凈化工程施工過程采用了一種新的空氣凈化裝置�；仫L(fēng)管設(shè)置有多條回風(fēng)支管，每條回風(fēng)支管的進(jìn)風(fēng)端均設(shè)置有進(jìn)風(fēng)盒，使得電子無塵室內(nèi)的各個(gè)角落的空氣凈化均勻，有效的克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。使整個(gè)電子無塵室的空氣清潔度達(dá)到萬級(jí)要求。

電子工程十萬級(jí)凈化車間