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無塵室的構(gòu)造
無塵室的構(gòu)造主要有5個部分:
1、無塵室潔凈度
無塵室的潔凈度用潔凈等級來表示,分別為10級、100級、1000級、10,000級、100,000級。數(shù)值越小則凈化度越高,例如:100級高于 1000級、1000級高于10000級等。在不同級的無塵室中,1立方英尺體積中所含的粉塵數(shù)不同(指粒度> 0.3um的粉塵)。
以萬級無塵室為例,其空氣的潔凈度比100級無塵室低100倍。潔凈級別高的無塵室內(nèi)空氣壓力也高。一旦打開不同級別間無塵室的門,空氣會從潔凈度高的室流向潔凈度低的室,這樣高潔凈度的室不會被污染。盡管如此,還是應(yīng)避免經(jīng)常打開不同級別無塵室間的門。
2、無塵室的構(gòu)造方式
氣流方法
A)垂直氣流型( Class 1~100 )
B)水平氣流型 ( Class 100 )
C)亂流型 ( Class 1,000~100,000 )
D)混流型( Class 1,000~100,000 )
4、風(fēng)機(jī)過濾器系統(tǒng)
FFU為低噪音、高效率的除塵系統(tǒng),能夠方便的為無塵室提供高質(zhì)量的過濾空氣。
風(fēng)機(jī)過濾單元系統(tǒng)
安裝在無塵室天花板龍骨架上的直流FFU系統(tǒng)
5、無塵室的必要性
為了避免生產(chǎn)過程中出現(xiàn)污染和腐蝕,空氣當(dāng)中的細(xì)小微粒和微生物數(shù)量必須減到較小,于是,無塵室技術(shù)現(xiàn)在成為了許多工業(yè)的基本要求。
無塵室設(shè)備用于微電子工業(yè)、半導(dǎo)體、精密機(jī)械、制藥業(yè)、塑料制品和食品加工業(yè)等各個領(lǐng)域。